日本高精度靜電消除風(fēng)扇

通過(guò)配備*的I.C.C.控制，可減少因針的磨損或臟污導(dǎo)致的靜電消除能力退化，并實(shí)現(xiàn)比傳統(tǒng)型號(hào)高3倍的省維護(hù)。
配備了300mm和600mm兩種型號(hào)。可以根據(jù)不同的靜電消除，有效進(jìn)行除電。

消除托盤(pán)上的芯片的靜電
消除托盤(pán)上的芯片的靜電

通過(guò)由I.C.C.控制的高精度的離子平衡，可以寬范圍的對(duì)托盤(pán)進(jìn)行除電。

電池過(guò)程中的靜電消除
電池過(guò)程中的靜電消除

即使在空間受限的場(chǎng)所，也可以進(jìn)行省空間設(shè)置，可以進(jìn)行寬范圍的除電。
通過(guò)配備Dual Fan，只需一臺(tái)就能寬范圍的進(jìn)行除電。

日本高精度靜電消除風(fēng)扇

防止基板上附著灰塵
防止基板上附著灰塵

通過(guò)屏蔽結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)高精度的離子平衡，可以在全范圍實(shí)現(xiàn)離子平衡±5V。

消除容器的靜電
消除容器的靜電

通過(guò)Dual Fan結(jié)構(gòu)實(shí)施高速、寬范圍除電，因此可以針對(duì)高速線進(jìn)行除電。通過(guò)組合*的脈沖AC方式和I.C.C.控制，實(shí)現(xiàn)了同超高的單一電離子生成量。 此外，通過(guò)組合大功率風(fēng)扇和通風(fēng)口結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了同超高速度、大范圍的靜電消除區(qū)域。

SJ-F2500
SJ-F5500
類型
300 mm 型
600 mm 型
電壓施加方法
脈沖 AC 方法
施加的電壓
±7000V
離子平衡控制方式
I.C.C.
離子平衡
±5 V*1
靜電消除時(shí)間
約 0.6 秒*2
工作距離
50 mm 以上
zui大風(fēng)速
5.7 m/s*1
zui大風(fēng)量
4.0 m3/min
10.0 m3/min
臭氧濃度
zui大 0.005 ppm
電源輸入型
AC 適配器或
DC 選項(xiàng)
AC 電纜輸入