簡要描述:使用安全SUNX神視晶圓校準(zhǔn)傳感器GX-5SU GXL-15FUB-R-C5 GX-5SUB GXL-15FU-C5 GX-8M GXL-15FUI GX-8MB GXL-15FUIB GX-8MB-R GXL-15FUIB-C5 GX-8ML GXL-15FUIB-R
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使用安全SUNX神視晶圓校準(zhǔn)傳感器
型號(hào)
GX-4S GXL-15FLUIB-R-C5
GX-4SB GXL-15FLUI-C5
GX-4SB-R GXL-15FLUI-R
GX-4S-R GXL-15FLUI-R-C5
GX-5M GXL-15FLU-R
圖片
資料
低消耗電流70mA以下
檢測頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。實(shí)現(xiàn)光電傳感器同等的低功耗。
高分辨率30μm
雖然使用紅色LED作為光源,但仍然具有激光傳感器同樣的高,因此可實(shí)現(xiàn)高精度檢測。
無需光軸調(diào)整
投、受光部一體型,無需繁瑣的光軸調(diào)整。并且,檢測距離及檢測寬度可以覆蓋30mm的廣闊區(qū)域,可對(duì)應(yīng)各種不同尺寸的晶圓。
配備系數(shù)和偏移量調(diào)整功能
模擬輸出(1~5V)除了系數(shù)調(diào)整功能之外,還具備方便的偏移調(diào)整功能,可在±0.5V的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)換模擬電壓。
使用安全SUNX神視晶圓校準(zhǔn)傳感器
用途
檢測晶圓的偏心、凹陷
檢測晶圓的偏心、凹陷
種類
種類
檢測頭
形狀 檢測距離 檢測寬度 型號(hào)
30mm(固定)
(注1) 30mm HD-T1030
(注1): 出廠時(shí)固定于安裝基座狀態(tài)下的值。
控制器
檢測頭與控制器必須配套使用。
形狀 型號(hào) 輸出
HD-T1C 模擬電壓
?輸出電壓:1~5V