簡要描述:安裝方法山武AZBIL藍寶石隔膜真空計SPG5/6熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理*,只是它不用測量熱絲電阻的變化,而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化。測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。與皮拉尼電阻規(guī)一樣,這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標定。
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安裝方法山武AZBIL藍寶石隔膜真空計SPG5/6
產(chǎn)品描述:
藍寶石隔膜真空計 SPG5/6/7的受壓部采用了高耐腐蝕性、高耐熱性且機械特性異的單晶體藍寶石,
通過檢測靜電容量,即使在高溫檢測環(huán)境下也能實現(xiàn)高的檢測重復性。
通過進的信號處理技術實現(xiàn)了溫度特性、直線性等誤差小的檢測,由微加工技術而形成的藍寶石傳感器實現(xiàn)了小型、輕量化的自加熱型隔膜真空計。
提高
真空計多數(shù)在有大的壓力環(huán)境下使用,是容易因各種原因引起零點漂移的產(chǎn)品。真空計的零點漂移會影響控制量,從而會影響終產(chǎn)品的。藍寶石隔膜真空計采用了零點不易漂移的構造。
提高性
減少了設備的停機時間。備有用于減少停機避免時間浪費的功能。
改善工藝
改善對以前只能通過壓力信號的變化才能識別的各種信息進行可視化的工藝的客戶作出貢獻。
水銀壓力計(U型管) 10~10
油壓力計(U型管) 10~10
油壓力計(U型管) 3*10~1
麥克勞真空計(一般型和特殊型)
10~10
彈性變形真空計 10~10
隔膜真空計(機械式) 10~10
隔膜真空計(電氣式) 10~10
電離真空計(三管型) 10~10
超高真空用B-A型 10~10
高真空用熱陰磁控計 10~10
高真空用(舒爾茨型) 10~10
冷陰真空計 1~10
在較高壓力時(10~1Pa)利用壓力差U型管壓力計,麥克勞真空計,薄膜計,彈簧管壓力計等[1] 。
在10~10Pa的中間壓力范圍,利用氣體性質(熱傳導,粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。
在低壓力時,使用將氣體分子電離而測量的電離真空計。
表2 真空計的適用壓力范圍
安裝方法山武AZBIL藍寶石隔膜真空計SPG5/6